Kuinka XXY-kohdistusvaiheen ja CCD-kameran tarkka kohdistus saavutetaan

Jul 20, 2019

Jätä viesti

XXY Kohdistusvaihe, jota kutsutaan myös UVW-kohdistusvaiheeksi ja XYθ (teeta) -vaiheet, on suunniteltu erittäin tarkkoja kohdistussovelluksia varten. Se liikkuu XY-tasossa ja pyörii XY-tason keskipisteen ympäri. Termejen yhdenmukaistamistaulua tai XY-kiertovaihetta käytetään usein vaihtokelpoisesti XYθ-, XY-teeta- tai UVW-vaiheen kanssa.

Saatavana 10 mallissa, kolmella tarkkuusluokalla G-tasolta 2μm, B-tasolta 5μm, P-tasolta 10μm, näiden mallien matkat ovat lineaarisesti ± 5 mm. Lisäksi XXY-asteet voivat pyöriä XY-tason keskikohdan yläpuolella ± 5 asteesta ± 2 asteeseen vaakasuuntaisen kuormituksen ollessa 10–100 kg.

Tarkkuuden suuntaustekniikan soveltaminen

Laaja valikoima sovelluksia mikrokoneisiin, erittäin tarkkaan työstöön, nanoteknologiaan ja puolijohteisiin

Tarkkuuskohdistustekniikka

Moottori ja kuljettaja, korkearesoluutioinen tarkkuuden kohdistusvaihe, CCD-kamera ja kuvankeruukortti, kuvankäsittelyalgoritmi-ohjelmisto ja hallinta.

Tärkein sopimus: Korkean resoluution tarkkuuden kohdistusvaihe.

Seuraavaksi esittelemme UVW / XXY-kohdistusvaiheen liikevaiheet kohdistusjärjestelmässä.

Vaihe 1: Robotti pitää ylempää lasilevyä työvaiheen yläpuolella siten, että ylempi lasilevy kohde sijaitsee CCD-kenttään kohteen sijainnin määrittämiseksi.

Vaihe 2: Robotti pitää alempaa lasilevyä ja estää sen asettamista työtasolle siten, että alemman lasilevyn kohde on CCD-alueen näkökentän sisällä kohteen sijainnin määrittämiseksi.

Vaihe 3: Alemman lasilevyn kohteen ja ylemmän lasilevyn kohteen välisen suhteellisen sijaintieron mukaan kuvankäsittelyalgoritmia käytetään laskemaan UVW / XXY-vaiheen liikkumäärät (X, Y, Φ) moottorin ohjaamiseksi liike, jotta alempi lasilevy ja ylempi levy saadaan aikaan. Lasilaatta on kohdistettu tarkasti.